硫化氫質量流量計

硫化氫質量流量計

Aera流量計 Aera 氣體質量流量控制器

FC-R7800CD  FC-R7810CD FC-R7820CD

質量流量控制器是在半導體生產線中的成膜、蝕刻等供氣系統中緊密控制氣體流量的裝置。本公司的產品在閥門上搭載使用自己開發的Ni-Co合金的波形隔膜，對于流體接觸的所有部分采用了金屬密封的潔凈結構，結合各種用途備齊了豐富的產品系列。今后，我們也將為應對不斷發展進步的半導體工藝的要求，推出高性能數字質量流量控制器，為半導體的制造技術的發展做貢獻。

Aera質量流量控制器產品源于美國，是流體控制領域的標志性企業

硫化氫質量流量計 性能：

快速的響應,響應時間＜1秒.

精度≤1%FS   線性度小于等于0.5%FS  重復性≤0.2%FS

易于整合——標準連接器和尺寸

高度的可靠性和穩定性

特點:

耐腐蝕性，流量范圍從10sccm－200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性連接

全金屬密封

常關或常開的電磁控制閥

泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He

      Aera創建于美國，是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業,掌握行業*的流體測量及控制技術，專注于高科技工業領域的廣泛應用，包括半導體、新能源、 新材料，平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器，氣體工藝整體解決方案和服務支持方案。Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品，客戶包括但不限于原始設備制造商（OEM）和終端用戶（END-USER）。