硅烷質量流量計

產品時間：2025-06-09

簡要描述：

硅烷質量流量計
FC-DR980C-4V-SiH4
SiH4 就叫硅烷，硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體

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詳細介紹

硅烷質量流量計

FC-DR980C-4V-SiH4

硅烷質量流量計性能：

數字和模擬兩用型控制

快速的響應

高精度

高度的可靠性和穩定性

易于整合——標準連接器和尺寸

Aera創建于美國，是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業，擁有研發及運營團隊，掌握行業流體測量及控制技術，專注于高科技工業領域的廣泛應用，包括半導體、新能源、新材料，平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器，Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品，客戶包括但不限于原始設備制造商（OEM）和終端用戶（END-USER）

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